バルブ
バルブ
超高真空用のオールメタルバルブ、ポリィミドバルブ、L型バルブ、ゲ-トバルブからあら引きバルブ、アイソレ-トバルブなどあら引きライン用バルブまでラインナップを揃えております。
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超高真空L型オールメタルバルブ
優れた許容加熱性!400℃または450℃までベークアウトが可能
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超高真空L型ポリイミドバルブ
ポリイミド樹脂を使用!最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能
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あら引きバルブ『Vシリーズ』
小型化と低価格を実現!高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適
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L型バルブ『Vシリーズ』
豊富な接続フランジ!バルブボディはステンレス鋼を使用
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超高真空バリアブルリークバルブ
全金属製で450℃までのベーキングが可能!広範囲にわたりガス流量の調節ができます
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ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』
軸シールにベローズを使用!ガス導入時大気の混入する心配がありません
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アイソレイトバルブ『V-025SV』
特別な制御回路は必要なし!被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
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キヤノンアネルバ株式会社 会社案内
社会の発展に貢献!超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
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