超高真空L型ポリイミドバルブ | キヤノンアネルバ - Powered by イプロス

超高真空L型ポリイミドバルブ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能

『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる製品です。真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにもオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。【特長】 ■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる ■優れた許容加熱性 ■ガス放出の少ないシール材 ■小さな締付けトルク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/val_detail…

基本情報

【ラインアップ】 ■951-7120 ■951-7145 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

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キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを目指してまいります。今後も、確かな技術力に基づいた高付加価値製品作りに邁進し、エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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