キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社 公式サイト

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用!ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■優れた許容加熱性 ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【仕様(抜粋)】 ■使用真空領域:大気圧~10^-7Pa程度 ■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下 ■オリフィス径:φ8.5mm ■許容加熱温度  ・バルブ開時150℃  ・バルブ閉時125℃ ■接続フランジ:φ70ICF、NW25フランジ ■質量:0.5kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

製品カタログ

取り扱い会社

キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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