あら引きバルブ『Vシリーズ』 | キヤノンアネルバ - Powered by イプロス

あら引きバルブ『Vシリーズ』

小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備しています。【特長】 ■10^-4Pa程度の高真空領域まで使用可能 ■軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用 ■開閉ポジションセンサスイッチ装備 ■駆動方式　・圧空　・手動 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/val_detail…

基本情報

【ラインアップ】 ■V-025RV-CN ■V-025RV-MN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを目指してまいります。今後も、確かな技術力に基づいた高付加価値製品作りに邁進し、エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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