測定球『ミニチュアゲージ』 | キヤノンアネルバ - Powered by イプロス

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行うことが可能

『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等のゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34ICF、φ70ICF ■MG-2F ■MG-2WF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://anelva.canon/business/component/vac_detail…

基本情報

【仕様(抜粋)】 ■ボディー材質：SUS304 ■感度：0.045Pa^-1 ■測定球容積：約12cc ■デガス方式：グリッド通電 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを目指してまいります。今後も、確かな技術力に基づいた高付加価値製品作りに邁進し、エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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