クリスタルゲージ『M-320XG』
優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。 【特長】 ■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定 ■熱源（フィラメント）を持たない ■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない ■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g ■環境に配慮した少ない消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】 ■測定球：XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） ■測定圧力範囲：1×10^-2Pa～大気圧 ■Gas種選択：N2、Ar、H2、Air ■入出力コネクタ：Dsub 15P ■外形寸法（mm）：72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず） ■質量：200g（ゲージヘッド含まず） ■所要電力：DC 22V～33V、（最大消費電力2W） ■センサー取り付けフランジ：NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■各種真空装置のあら引き圧力の測定 ■各種プロセスの圧力測定 ■チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ ■その他大気圧から10^-2Pa台までの圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
