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サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

【その他の特長】 ■汎用性があり、簡単に使えるように設計されている ■機械によって制御される全ての各単一ユニットはセンサーのネットワークで接続できる ■独自の技術により、様々な部品(反射性が高い、面が粗い、不透明な物など)の 　測定をすることが可能 ■改良したエレクトロニクスユニットにより、測定時の連続データを保存し、 　ポストプロセスの測定詳細、品質管理と機械性能評価のために使用出来る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

白色光を透過する様々な材料の非接触厚み測定を実現

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様々な表面で、高速かつ広範囲な非接触/非破壊測定を実現

セットアップ：デスクトップシステム 横方向測定範囲 / 移動範囲：150 mm x 150 mm ステージ平坦度：± 5 μm 許容荷重：最大 10 kg 垂直移動範囲：25 mm 寸法 [W x D x H]： 475 mm x 450 mm x 434 mm 重量：29 kg 電源電圧：100-240 V, 50-60 Hz ファイル形式：SUR, TXT, CSV コンピューター：デスクトップ (モニター付き） ソフトウェア：SolarScanNT, SolarMap

要求の厳しい複雑な表面測定に対応する高精度3D表面計測

解像度：横方向解像度：1 μm 以上、垂直方向解像度 1 nm 以上 スキャン速度：処理時間 30 x 30 mm プローブチップアレイ：4分未満（高解像度）、処理時間 80 x 80 mm プローブヘッド形状：3分未満（低解像度) 寸法：受注生産 変更時間（異なる種類のプローブカード間）：2分未満 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

チップ製造のサイクルタイム短縮と高品質を実現！ウェーハ切断中のブレード監視用センサー

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