プレCMPスラリー：CMPプロセス時間を短縮
![[Usage] Optical lens / Fluorite](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/56e/1483761/IPROS27400672673331232972.jpeg?w=140&h=140){kind=small}
![[Application] Aluminum Nitride / Silicon Nitride](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/56e/1483761/IPROS78812785483226697438.jpeg?w=140&h=140){kind=small}
![[Application] Metal materials](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/56e/1483761/IPROS92835783842085361701.jpeg?w=140&h=140){kind=small}
![[Usage] Mold](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/56e/1483761/IPROS45702207035201646962.jpeg?w=140&h=140){kind=small}
![[Usage] Wire Drawing Die](https://image.mono.ipros.com/public/premium/image_category/56e/1483761/IPROS23561207455047028799.jpeg?w=140&h=140){kind=small}
柔よく剛を制す！シリカにダイヤモンドをブレンドした硬質基板研磨用スラリー。CMPの前の使用することでプロセス時間を短縮します。
サファイア、SiC、窒化ケイ素など、硬質材料の研磨におすすめのプレCPMスラリーです。CMPの前に使用することで、CMPのプロセス時間を短縮可能です。 【このような場合におすすめです】 ■CMPのプロセス時間を短縮したい方 ■微細スクラッチ等の除去を効率化されたい方 ■過マンガン酸カリウムスラリーの負荷を低減されたい方 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
基本情報
プレCMPスラリーULTRA-SOL STD0.5μ20MCHは、高品質のダイヤモンド粒子をシリカにブレンドした中性ｐHの水性スラリーです。CMPの前に使用することで、サファイア、SiC、窒化ケイ素などの難加工材料のCMPのプロセス時間を短縮可能です。 【ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHの製品のご紹介を公開中】 ULTRA-SOL STD0.5μ20MCHでのSiCの評価例などをまとめた資料を作成しました。詳しくはページ下部のカタログをご覧ください！ ※プレCPMスラリーとは、コロイダルシリカに単結晶ダイヤモンドをブレンドしたスラリーです。ダイヤ砥粒で表面にアタックをかけ、コロイダルシリカで整わせることで、高い加工レートと表面品質を実現します。仕上げCMPの前に使用することで、プロセス時間を大幅に短縮します。
価格帯
納期
用途／実績例
SiCやサファイアなどの硬質材料の研磨
