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ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ

■ウエハ白色干渉測定モデル 12インチウエハ測定装置に適用。 サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測に。 短納期対応。 ■ PLP検査 モデル エアベアリングとリニアガイドウェイのハイブリッド構造で、 高精度と高剛性を兼ね備えています。短納期対応。 ■LDI 露光機 モデル ハイグレードなエアベアリングステージ。 動的安定性と動的精度が高く、 安定して高い精度を維持できます。 ■ウエハ光学検査装置 8 インチウエハの検査やAOI装置に適用。 短納期で安定性の高い汎用ステージです。

高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消！

≫特長≪ ・5軸自由度 ・サーボ帯域幅＞100Hz ・クリーンルームISO Class2準拠 ・一体型ロータリー式エアジョイント ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・最小高さ90mm

【リニアガイドウェイ】ISO6クリーンルーム対応／半導体・食品製造装置に【補助潤滑モジュール】

・ブロック両端に取付けられるユニットで自動潤滑 ・寿命10,000km：長寿命、メンテナンス頻度削減 ・ISO 6クリーンルーム対応：半導体製造装置に好適 ・潤滑油の落下による汚染を回避 ・【リニアガイドウェイ】MG / HG / QHシリーズに対応

圧倒的な薄さが特長の薄型DDモータ―

○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。