半導体サブシステム

半導体サブシステム
半導体・LED・FPD産業向けに、コンポーネントだけにとどまらないサブシステムをご提案します。 DDモーターなど自社製主要コンポーネントを採用し高性能とリーズナブルを両立したウエハ搬送ロボットや、業界最小クラスのウエハアライナーなどをラインアップ。
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HIWINウエハアライナー
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現! 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】
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HIWIN ウエハロードポート
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
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HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
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『自動化・省力化ソリューションの導入支援』
産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボットやステージで段取り替えや搬送の効率アップ
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『半導体サブシステムソリューション』
半導体製造装置向けのコンポーネントからサブシステムまで、トータルでご提供可能です
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ナノ精度位置決めステージ【N2ステージ】※リーフレット進呈中
ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に!
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ナノ精度位置決めステージ標準モデル4機種
ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ
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