ナノ精度位置決めステージ【N2ステージ】※リーフレット進呈中
ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に!
技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。 位置決め安定性は±2nmで100mm/sでの高速安定性は±0.1%。 低床で安定した構造でハイエンドの精密検査装置などに好適。 モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で 培った技術をあますことなく発揮し、これからのものづくりに貢献する高精度ステージです。
基本情報
・低床構造 ・位置決め安定性±2nm ・速度リップル±0.1%@100mm/s ・高い幾何学的精度 ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・ワンストップサービス ・カスタム対応可能
価格情報
○ 詳細はお問合せください。
納期
型番・ブランド名
HIWIN ハイウィン ナノ精度位置決めステージ ナノ精度ポジショニングステージ N2 リニアモーターステージ ナノメートル
用途/実績例
・半導体検査装置 ・半導体製造装置(IC Bonding) 詳細はお問合せください。
カタログ(1)
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【2026年10/26(月)~10/31(土)】JIMTOF2026 出展のお知らせ
ハイウィン株式会社は、東京ビッグサイトで開催される「JIMTOF2026/第33回日本国際工作機械見本市」へ出展します。 「PASSION(情熱)」をテーマに、持続可能なものづくりを支援するハイウィングループのソリューションを「工作機械」「機械要素部品」「半導体サブシステム」 の3つの切り口でご紹介します。 ◇工作機械ソリューション ・最高回転数 1000min⁻¹、同時5軸加工を実現する高速版トルクモーター ロータリーテーブル【RAB630】 ・当社製モーションコントローラー【HIMC】とセット納入で、各社PLC接続に対応する直交ロボット【KKシリーズ】 ◇機械要素部品ワンストップソリューション ・5軸MCなどの超高負荷・高防塵用途に対応するローラーガイドの最上位モデル【URシリーズ】 ・予知保全に貢献する状態可視化システム搭載の直動製品【i4.0シリーズ】 ◇半導体サブシステムソリューション ・半導体製造の厳しい精度要求に応えるリニアモーター精密位置決めステージ ・半導体製造関連装置との組み合わせに最適なウエハロード・アンロードシステム
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【2026年10/7(水)~10/9(金)】第29回 機械要素技術展[大阪]出展のお知らせ
ハイウィン株式会社は、インテックス大阪にて開催される 第29回 機械要素技術展 大阪 に出展いたします。 当社ブースでは、リニアガイドウェイやボールねじなどの 機械要素部品に加え、各種モーター、精密ステージの他、産業用ロボットを組合せた実働デモを展示します。装置の高精度化・高速化、そして幅広い工程の自動化を実現するハイウィンのトータルソリューションをご提案いたします。 実働デモでは、直交ロボットとスカラロボットにAIビジョンシステムを組み合わせた「AI外観検査デモ」や、直交ロボットと電動グリッパー、メカ式ツールチェンジャーによる「エアレス&多品種対応デモ」をご覧いただけます。 また、単軸ロボット「KHシリーズ」と直交ロボット「KKシリーズ」を搭載した搬送システム実機も展示いたします。「KHシリーズ」は、高速・高可搬・長尺搬送に対応し、重荷重用途や高速運転時でも安定した動作と優れた耐久性を実現。豊富なアダプターにより、装置設計の自由度向上にも貢献します。
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![【HIWIN】第3回 [九州]半導体産業展](https://image.mono.ipros.com/public/news/image/1/199717/IPROS6251423241075669142.jpg?w=280&h=280)
【2026年9/30(水)~10/1(木)】第3回 [九州]半導体産業展
ハイウィン株式会社は、マリンメッセ福岡にて開催される 第3回 [九州]半導体産業展 に出展いたします。 当社ブースでは、±2nmの位置決め安定性と高速動作を両立するナノ精度位置決めステージをはじめ、ステンレス鋼対応のリニアガイドウェイなど、半導体製造工程に最適な精密ステージや機械要素部品を幅広く展示いたします。また、超薄型DDモーター「DMTシリーズ」とリニアモーターステージを組み合わせたXYΘステージもご紹介します。低重心・高剛性設計により振動や姿勢変化を抑制し、高精度な位置決めと高速動作を実現するとともに、省スペース化にも貢献します。 半導体製造装置の高精度化・高速化に貢献する製品を通じて、お客様の開発効率向上と生産性向上を実現するハイウィンのトータルソリューションをご提案いたします。
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【2026年7/15(水)~7/17(金)】第44回 モータ技術展 出展のお知らせ
ハイウィン株式会社は、東京ビッグサイトにて開催される 第44回 モータ技術展 に出展いたします。 当社ブースでは、リニアガイドウェイやボールねじなどの 機械要素部品に加え、各種モーター、精密ステージの他、産業用ロボットを組合せた 実働デモを展示します。装置の高精度化・高速化、そして幅広い工程の自動化を実現するハイウィンのトータルソリューションをご提案いたします。 実働デモは、DDモーターDMTシリーズとAIビジョン、特殊コンベアを組合わせたトンネル型検査デモをご覧いただけます。AIビジョンを搭載したDMTにワークを通し、DMTを回転させることで、1台のビジョンで表裏検査が可能。省スペース化とコスト削減に貢献します。
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【2026年6/10(水)~6/12(金)】JISSO PROTEC 2026 出展のお知らせ
本展では、拡大を続ける電子・半導体産業のものづくりを支えるトータルソリューションをご紹介します。 PLP工程に対応したナノ精度位置決めステージをはじめ、半導体製造関連装置との組み合わせに最適なウエハロード・アンロードシステムなどをご覧いただけます。さらに、コンパクトかつ高トルクを実現するダイレクトドライブモーター「DMTシリーズ」も展示いたします。
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取り扱い会社
HIWIN(ハイウィン)は台湾、台中に本社(資本金約175億円、従業員約5,000名)を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界13か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。(ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得) また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。








