ハイウィン株式会社 公式サイト

ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に！

・低床構造 ・位置決め安定性±2nm ・速度リップル±0.1%@100mm/s ・高い幾何学的精度 ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・ワンストップサービス ・カスタム対応可能

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 　リソグラフィ、エッジング、 CVD、 PVD、洗浄、検査、パッケージングなどの半導体製造装置に適用可能です。 ・安全規格に準拠し、非常停止機能を搭載。 モーター駆動系、センサー系、真空系などの各機能モジュールをリアルタイムで監視。 　ユーザーに包括的で安全な保護を提供します。 ・リニアガイドウェイや単軸ロボットなどの主要部品は独自に研究開発・製造。 　ソフトウェアとハードウェアの垂直統合を実現することで、顧客ニーズに応じたカスタマイズに対応します。

ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に好適。　※技術資料を進呈

■悪環境下での使用 　ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に適しています。 ■互換性 　ステンレス鋼シリーズと炭素鋼シリーズは、外観とねじ寸法が同じため、直接置換えることが可能です。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。

圧倒的な薄さが特長の薄型DDモータ―

○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。