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微小異物分析のためのサンプリング技術

エレクトロニクス製品の歩留に大きな影響を与える異物について、各種サンプリング技術を駆使して迅速な分析結果をご報告します。

■多層膜中異物の特殊サンプリング技術 ・基板上金属膜に埋もれた異物  金属膜エッチング⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析 ・多層薄膜中の異物  表面層の切り取り⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析  ミクロトーム/FIB 薄片化⇒Siウエハに載せ替え⇒FT-IR分析

微小異物分析のためのサンプリング技術

基本情報

■さらに強化されたマイクロサンプリングツール  新規導入されたマイクロサンプリングツールは  顕微鏡下でマニュピレータを用い  正確に狙った異物を捕らえます ■5umに満たない微小異物でも  多数集めてFT-IRにて測定することが可能です

価格情報

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納期

用途/実績例

多層膜中異物の特殊サンプリング技術

品質技術トータルソリューション

製品カタログ

イメージング顕微FT-IRによる微小異物の分析

製品カタログ

微小異物分析のためのサンプリング技術

製品カタログ

樹脂の変質劣化をFT-IR分析で確認してみませんか?

技術資料・事例集

この製品に関するニュース(1)

取り扱い会社

アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として1993年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。

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