TOF-SIMSによる表面分析
TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
基本情報
・TOF－SIMSはパルス状の一次イオンを照射し 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。 ・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり 質量の分離が出来ます。
価格情報
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納期
用途／実績例
・緑顔料中のフタロシアニングリーンの分子構造 ・薄膜a-Si太陽電池の深さ方向分析 ・Siウエハ表面汚染の面分析
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この製品に関するニュース（2）
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化学分析 おまかせサービス
当社で取り扱う『化学分析 おまかせサービス』をご紹介いたします。 製品上の異物やシミなどの成分分析を⾏う際、有機分析が適しているのか、 無機分析が適しているのか、また、有機・無機分析の中でもどの分析が好適 なのか、分析手法の選定についてお困りのお客様へ、一括サービスを提供。 分析装置はそれぞれ測定できる対象が異なるため、情報をもとに、 目的に合った手法を選ぶ必要があります。
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ダイナミックSIMS
『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。 定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が 可能。(当社の協力会社での分析実施) 最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが できます。
