EELS分析手法による膜質評価
元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です！
基本情報
【EELS分析とEDS分析との比較】 <EELS> ■分析に使用するパラメータ：エネルギー損失電子 ■エネルギー分解能：1eV以下 ■長所：状態分析軽元素分析（Li,B） ■短所：広範囲の元素を同時分析が困難 ■測定時間：5s ■TEM試料厚：約50nm以下 <EDS> ■分析に使用するパラメータ：特性X線 ■エネルギー分解能：100eV前後 ■長所：全元素についての分析 ■短所：近接するエネルギーを持つ元素のピーク分離が困難 ■測定時間：30s ■TEM試料厚：約300nm以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
