表面分析ガイド
様々な表面分析手法!異物、変色、汚染などのお困りごとの解決に向けてお役立て致します
基本情報
【EDX(EDS)の特長】 ■微小領域の元素分析 ■バルク試料の分析 ■SEMとの併用が可能 ■元素マッピング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【適用例】 ■EDX:微小異物分析、マイグレーション観察 ■AES:パッドの変色分析、酸化膜厚測定、ボンディング不良解析 ■XPS:基板表面の汚染分析、表面酸化の評価 ■TOF-SIMS:有機物・無機物汚染の分析、膜はじき異物の分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。