積層基板の斜めCT観察
積層基板では各層毎の情報を得ることが可能！測長ツールを用いることで長さを測定できます
基本情報
【積層基板の観察事例（斜めCT観察）】 ■Cheetah EVOでは、凹凸が少なく大きさが200mmほどの試料であれば破壊することなく、 そのままCT観察することが可能 ■X線による透過観察では、斜めCTで像を取得することで各層のパターンを確認することが可能 ■測長ツールを用いることで長さを測定することもできる ■測定結果は光学顕微鏡像の測定結果に対し約7～14%の差が見られたが、非破壊で内部構造を 把握したいという場合には有効 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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