【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
ステージ駆動による広域イメージマップ！マジックの分布を可視化できた測定例をご紹介
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な TOF-SIMSの事例をご紹介します。 金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域（30mm×30mm）の イメージマッピング測定を実施。 光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な 2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を 可視化することができます。 この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから 詳細な解析結果を得られた事例もございます。 【概要】 ■通常測定（ビームスキャン測定）は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象 ■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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用途／実績例
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