【TOF-SIMSの事例】広域イメージマップ
ステージ駆動による広域イメージマップ！マジックの分布を可視化できた測定例をご紹介
電動ステージと組み合わせることで、広域のイメージマップ測定が可能な TOF-SIMSの事例をご紹介します。 金属板に2種類の黒色マジックで描画し、広域（30mm×30mm）の イメージマッピング測定を実施。 光学像では2種類のマジックの識別が困難ですが、各マジックに特長的な 2次イオンピークでイメージマップを確認することで、マジックの分布を 可視化することができます。 この他にも、TOF-SIMSにて広域イメージマップ測定後、スペクトルから 詳細な解析結果を得られた事例もございます。 【概要】 ■通常測定（ビームスキャン測定）は、サイズ500μm × 500μm以下を測定対象 ■電動ステージと組み合わせることで、広い領域のイメージマップ測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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この製品に関するニュース（53）
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パワーデバイス故障箇所・Slice＆View 三次元再構築
FIB-SEMのSlice＆View機能を用いた、故障箇所の三次元再構築について ご紹介いたします。 構造物の連続SEM画像を取得し、得られた像を三次元構築ソフト(Avizo)で、 SEM画像間のパターンの位置ズレを補正し立体的に可視化。 故障箇所に対して断面出しをする位置特定技術とSlice＆View機能を 組み合わせることで不良状態を保持して異常部前後の情報を含めた 連続SEM画像を取得することができます。
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薬液処理による⾦属組織観察
薬液処理による⾦属組織観察についてご紹介します。 ⾦属試料の薬品処理を⾏う事で⾦属組織を明瞭に観察する事が可能。 組織を観察する事で試料の状態や熱、応⼒などの印加履歴などが確認出来る 事があり、組織形状から製品の出来具合や不具合調査の⼿がかりが得られます。 掲載カタログにて、アルミニウム板のマクロ組織や銅端子のロウ付部 などの⾦属組織観察の詳細をご覧いただけます。 また、その他、断⾯観察や各種分析サービスも御座います。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
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「顕微FT-IR」のご紹介
株式会社アイテスでは、今年度新たに「顕微FT-IR」を追加導入しました。 FT-IRと光学顕微鏡を組み合わせた「顕微FT-IR」ではアパーチャ(視野絞り) によって通常のFT-IRでは測定困難な数十μm程度の微小物質も 測定することが出来ます。 顕微FT-IRには大きく分けて「透過法」「反射法」「ATR法」の 3つの測定法があります。 顕微FT-IR測定において透過法が基本的な測定法ですが、試料の形状や サンプリングの可否などによっては反射法やATR法が適していることもあります。
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機械研磨による半導体の観察例
半導体の構造観察や不良解析における断面作製方法には、CPやFIB、 機械研磨が挙げられますがそれぞれ一長一短あり、どの方法で作製するのか 検討が必要です。 近年ではCPやFIBが一般的になってきており技術を要する機械研磨は 減りつつあるように感じます。しかし、まだまだ捨てたものではございません。 メリット、デメリットはありますが、FIBやCPに劣らぬ断面作製が機械研磨でも 可能です。 当社では長年、蓄積されたノウハウを元に、観察目的や試料の組成、構造に 応じてより適切な処理方法をご提案いたします。
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冷熱衝撃試験のひずみ測定
当社で行った「冷熱衝撃試験のひずみ測定」についてご紹介いたします。 冷熱衝撃試験装置にひずみゲージを貼り付けたサンプルをセットし、 ひずみゲージの配線は槽外のデータロガーに接続して試験中のひずみデータを リアルタイムで記録。 二種類の銅張積層板について、冷熱衝撃試験中のひずみ挙動を観測し、 温度の変化に伴い大きなひずみが生じることが観測されました。 FR-1はFR-4に比べ、生じるひずみがより大きいことが分かりました。
