パワーデバイス故障箇所・Slice＆View 三次元再構築
故障箇所の三次元像を再構築する事により、破壊された構造の全貌を観察！
FIB-SEMのSlice＆View機能を用いた、故障箇所の三次元再構築について ご紹介いたします。 構造物の連続SEM画像を取得し、得られた像を三次元構築ソフト(Avizo)で、 SEM画像間のパターンの位置ズレを補正し立体的に可視化。 故障箇所に対して断面出しをする位置特定技術とSlice＆View機能を 組み合わせることで不良状態を保持して異常部前後の情報を含めた 連続SEM画像を取得することができます。 【掲載内容】 ■Slice＆Viewと三次元再構築について ■OBIRCHにより特定した故障箇所の連続SEM観察と三次元再構築 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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