モデル GF40 『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 用途 ■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 真空プロセス ■ ナノテクノロジー/MEMS製造 ■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

・商品説明を聞きたいが、メールや電話では情報が不足する ・会議の時間が取りにくい 商品説明をテレビ会議形式で行うことにより、お客様と資料を共有しながら対面とほぼ変わらない打合せを行うことがで弊社製品をより深くご理解いただけると思います。 是非とも、お気軽にオンライン商品説明サービスをご利用ください。 ＜オンライン商品説明の流れ＞ ▼ STEP1｜お申し込み ▼ STEP2｜お申込み受付 弊社担当よりオンライン商品説明の日時とテレビ会議のリンクを メールにてお送りします。 ▼ STEP3｜オンライン商品説明 当日はメールに記載のリンクにアクセスし、テレビ会議を開始します。 テレビ会議は Microsoft Teams またはSkype for Businessを利用します。 ソフトのインストールは不要ですが、その他のサービスもご要望がありましたら遠慮なくご相談下さい。

プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する 場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ）」を 使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。 より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！ 【特長】 ■ガラス管面積式流量計 ・高い耐久性・エコノミー・操作性に優れた流量計測技術 ・より幅広い流量レンジが可能であり、様々な液体や気体に適している ■金属管面積式流量計 ・高圧・過酷な温度環境下での使用に耐える耐久性と精度 【ラインアップ】 ■ガラス管面積式流量計 ・Sho-Rate モデル1350, 1355, 1358 ・GT1600 シリーズ ■金属管面積式流量計 ・MT3750 シリーズ ・MT3809 シリーズ ▼詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/variable-area-flow-meters

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要です。 ITWジャパンでは、気体用のマスフローメータ/コントローラやプレッシャーコントローラ、トランスデューサなど、長期安定性に優れた『流量・圧力計測機器』、微小流量の液体の高精度な制御と測定に適した『コリオリ流量計』、EPC業界で豊富な実績を持つ『金属管面積式流量計』、汎用性が高く耐久性と費用対効果に適した『ガラス管面積式流量計』を取り扱っております。 弊社の製品を長くお使いいただくために、校正や修理メンテナンスは国内サポートに加えて、海外拠点でも対応しております。 【装置の用途例】 太陽電池関連 / 半導体関連 / 医療機器関連 / 遠心分離機 / ろ過スキッド / 発酵槽 / 各種コーティング / フィル＆フィニッシュ / バイオリアクター（添加剤供給）他 ▼資料ダウンロードはこちら 　https://www.ipros.jp/product/detail/2000744379

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！ オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。 用途 ■ 薄膜プロセス ■ 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス ■ ラボおよび解析システム ■ 燃料電池テクノロジー ■ ライフサイエンスバイオリアクタ

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。

【新製品情報】 コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QMCシリーズ』 GF120xHTシリーズ メタルシール仕様『高温用マスフローコントローラ』 ★【パネル資料】にて特長をご確認ください！ オンラインでの説明会も承ります。 ご興味ある方はお気軽にお問い合わせください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/contact

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』 超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMultiFlo テクノロジーは、流量計本体をガスラインから切り離したり、精度を低下させることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせを可能にします。 この特長は、 歩留まりと生産性の最大化に貢献する業界最高水準のPTI性能とともに、プロセスラインに設置する圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェアを見直すことで、ガスパネルのサイズとコストの削減に貢献します。 用途 ■半導体エッチングツール ■MOCVD ■高清浄オールメタル流路が必要なガス流量制御アプリケーション

ピラニー真空計「VersaTorrシリーズ」は、ダイヤフラム式と MEMSピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、 キャパシタンスマノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を 可能にしたトリプルセンサーのBVT200シリーズで製品展開しています。 新開発のMEMSピラニ―センサーは、一般的なMEMSピラニ―センサーと 比べ1桁低い7.5 x 10E-7 Torrまでのワイドレンジ測定を可能としています。 ピラニーセンサーが気体の熱損失の影響を受ける1.5～1000Torrの高圧領域はダイヤフラム式でカバーすることにより、7.5 x 10E-7 ～1000Torrまでのワイドレンジ測定を可能にしています。 詳細な情報につきましては下記ウェブサイト（英語版）をご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/en/products/pressure-vacuum/pirani-transducers

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■ 再現性の高い、高精度なガス供給 ■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■ 長期にわたる安定したプロセス制御 ■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、 プロセスの歩留まりを最大化

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』 半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーションを想定して作られたGF100シリーズは、高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性を提供します。標準のMultiFlo(TM) テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 用途 ■ 半導体エッチングツール ■ 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） ■ 物理蒸着（PVD）システム ■ エピタキシャルプロセスシステム

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種 『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』 プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス管面積式流量計です。 精度範囲はフルスケール流量の1％〜10％からオプションで選択できます。パージ流量の管理、シールオイルユニット、ベアリングの潤滑油、冷却水の管理などのアプリケーションに最適です。 また、当社のGT1000、GT1300、およびFull-View(R)1100シリーズ（モデル1110、1114、1140、1144）を更新される際は、取り付け互換性のある後継品としてモデルコードから選択可能です。 用途 ■ 工業用プロセス ■ 医薬品製造 ■ 石油とガスのポンプと精製プロセス ■ 化学製造 ■ バーナー制御 ■ 水処理・給水システム

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います 『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。 【特長】 ■取り外し可能な流量センサ ■取付姿勢の影響なし ■他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 ■電動式バルブオーバーライド ■耐腐食バルブ

0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、 RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。 この革新的で信頼性の高いマイクロコンピュータベースの コントローラは、2つのモデルをご用意しています。 【モデル0251】 1台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電源を供給します。 【モデル0254】 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。 このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな 操作性を持っており、多様なアプリケーションに簡単にインストール できるよう、取付方法のオプションが提供されています。

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.10.0.0、V5.12.0.0、V5.14.0.0

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の 修理や代替品の選定で、お困りではないですか？ この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメントが集約して、修理や代替品ご提案にて、全面的にサポートを実施していることをご存知ですか？ タイランジェネラル[Tylan General]、マイクロリス[Mykrolis]、インテグリス[Entegris]、ユニット[UNIT]、キネティックス[Kinetics]、セレリティー[Celerity]等、様々なメーカーが過去販売しておりましたマスフローのすべてのサポートを行っております。これは、今日の市場において、現役で活躍しているLegacyマスフロ―のほぼ8割にものぼります。 あるケースでは修理をそしてまたあるケースでは弊社のベストセラーマスフローであるGFシリーズへの置き換えをお客様のご要望にあわせてご提案しております。 Legacyマスフロ―の修理や代替品置き換えでお困りの際はご相談ください。

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー（SLA5850）の高圧ガス設備試験(KHK認証)合格品を化学・石油化学業界を中心にご提供させて頂き納入実績を重ねてまいりました。 このたび、マスフローコントローラの設計圧力をボンベ圧でも使用可能な20MPaまで広げたことで今まで以上に豊富なアプリケーションに適用できるようになりました。 KHK認定品とは 高圧ガス保安協会(KHK) による高圧ガス設備試験に合格した製品で、高圧ガス設備試験成績証明書が添付されます。 KHK認定品のメリット 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー) こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752705 関連カタログからもご覧いただけます。

******************************** 出展ブース：小間番号 W1-57 東京ビッグサイト 西展示場 ******************************** 燃料電池の性能を評価する際に使用する燃料電池テストスタンドでは、ガスの流量制御は高精度であることに加えて再現性の高いことが重要です。ブルックスインスツルメントのマスフローは卓越した長期安定性を備えたセンサーを搭載し、広い流量範囲や圧力変動に対して柔軟に制御することが可能なデバイスです。また、専用のソフトウェアを使えば、オンサイトでのバルブチューニングのカスタマイズやキャリブレーションも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。 SLA5800シリーズは、微少流量（3sccm）から大流量（2500slpm）まで安定した流量制御をご提供することが可能なモデルです。弊社専用ソフト (BEST:Brooks Expert Support Tool) を使用いただくことによりお客様のプロセスにあったPID定数の変更や各種データをモニタリング（アラーム・バルブ開度等）することが可能です。 これらのデータはトラブルシューティングにも活用することが可能であり装置のダウンタイムの削減に貢献可能です。 ★ SLA5800シリーズ/ GF40と専用ソフトウェアの接続には有償の専用ケーブルが必要です。ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)は、一部の機能を除いて無償でお使いいただけます。

モデル 5700 『ターゲット化されたアプリケーション向けのコスト効率の高いガス流量測定』 温度や圧力調整が必要なく、長期的に安定した流量測定を行うコンパクトで経済的なマスフローメータが必要なら、5700シリーズのサーマル式マスメータをお選びください。パージガス、プロセス解析、解析フロー測定のニーズを想定して作られており、タービンメータ、面積式流量計、その他の体積流量計に代わる電子出力信号を備え、コスト効率と安定性に優れています。 用途 ■ パージガス測定 ■ ガスおよび湿度分析器 ■ パーティクルモニタ ■ 医療/麻酔用酸素システム ■ 曝気/発泡システム

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種 とレンジはFloComデータベースを参照ください。 ▽FloComデータベース（xls形式ファイル） https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/brooks/documentation/products/accessories-and-software/software/multiflo-configurator/flocom-database-db220418---gf40-gas-listing.xls 100種類以上の実ガスデータを搭載した高精度なGF40シリーズを、 ユーザー様のご用途に合わせてカスタマイズをしてご活用下さいませ。

******************************** 出展ブース：小間番号 8-38 東京ビッグサイト 東展示場 ******************************** 出展ブースでは、水素・燃料電池の研究開発や製造で実績のある各種流量計を展示しております。弊社のサーマル式マスフローは専用のソフトウェアを使って、機器の状態をリアルタイムにモニターすることができます。また、制御バルブのPIDパラメーターの調整やアラームの設定、ガス種やフルスケール流量レンジの設定変更など、オンサイトでのカスタマイズも可能です。 展示会場ではユーザーフレンドリーで多機能なソフトウェアの操作性を体験していただけるよう、専門のスタッフが皆様のご来場をお待ちしております。 ▼ 注目の出展製品 ◎GF40シリーズ：ガス種・レンジ変更対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ ◎QMBシリーズ：コリオリ式マスフローコントローラ/メータ ◎SLA5800シリーズ：高圧・大流量対応 サーマル式マスフローコントローラ/メータ

精密流体測定及び制御技術の世界的リーダーである ブルックスインスツルメント（Brooks Instrument LLC, 本社 米国 ペンシルベニア州ハットフィールド, 日本法人はITWジャパン）は 半導体製造装置メーカー大手のアプライドマテリアルズ社より 「2022年度サプライヤーエクセレンス賞」を受賞しました。 この賞は、品質、サービス、リードタイム短縮、納期遵守、コスト、 即応性などの分野で技術的・実務的に優れたパフォーマンスを収めた 企業が表彰されるものです。 サプライチェーン全体で戦略的な関係を構築することが重要と 考えており、今後も当社のお客様に対し、重要な役割を担う 戦略的パートナーとして努力を続けて参ります。 ◎ アプライドマテリアルズジャパン株式会社 プレスリリース（翻訳版） https://www.appliedmaterials.com/jp/ja/news-and-media/press-releases/221214-supplier-awards-jp.html

日本工業出版「計測技術12月号」にて新製品であるMEMSピラニ―真空計VersaTorrシリーズの製品概要と先端半導体プロセスにおける応用例を紹介しています。

■ 募集要項 サービス・リペア・テクニシャン 産業用コントローラの流量計測のテストと校正（機器調整）や、サービス/リペア部門に持ち込まれた産業用機器の分解、 洗浄、再組み立てに携わっていただきます。産業用デバイスの修理/校正の見積もり作成作業や、デバイスの分解修理と組立ても行います。 ■ 重要な職務詳細と責任 ・デバイスの開梱 ・デバイスの修理 ・社内システムを使用したデバイスの受取り処理、及び見積り作成 ・電子メールでの顧客とのコミュニケーション ・客先工場にて現地校正作業　(年に数回/1回３日程度） ※語学力スキルがある方は、グローバルミーティングに参加していただきます。 Position Description 他、詳細情報については下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/careers 応募先： ご経歴書（写真貼付/英文・和文）を下記アドレス宛までお送りください。 HR.Japan@BrooksInstrument.com ＊CareerCrossからもご応募いただけます。

抗体医薬品やワクチンを含む、バイオ医薬品の原薬製造工程において、ウイルスや細胞などを培養しスケールアップすることが目的となり、対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。そして、pH値や溶存酸素濃度をモニタしながら、空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量をMFCでコントロールすることで、最適な培養環境を維持できます。 弊社マスフローコントローラ（MFC）は、極低流量（3ssm）から大流量（2500slm）までの充実したラインナップにより、研究開発から量産設備まで国内外の多くの培養設備で実績を有しております。また、新製品であるバイオオプション仕様のMFCでは、従来のレンジアビリティ（フルスケールの2~100%）に対して、3~5倍のレンジ比を実現し、1台のMFCでより低流量の流量制御が可能となりました。 また、医薬・製薬業界で要求されるFDA/USP Class VI対応のエラストマー材料を使用することも可能です。

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 ＊ 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。 ＊ 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。 ＊ 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。 ＊ ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。

ブルックスインスツルメント製キャパシタンスマノメータ （CMXシリーズ並びにCMCシリーズ）の販売窓口が メガトール株式会社に正式に変更することとなりました。 ※2020年10月キャパシタンスマノメータの正規代理店に メガトール株式会社を追記しました。 当社製品の真空計測キャパシタンスマノメータに関する お問い合わせはメガトール社までお願いいたします。 メガトール株式会社 本社 営業部 〒231-0024 神奈川県横浜市中区吉浜町2-14 4F T: 045-222-0035 F: 045-222-0016 http://megatorr.co.jp/

・新型コロナウイルスの感染拡大を受け、社外からの訪問が制限されている ・リモートワーク中で対面の会議が難しい ・商品説明を聞きたいが、メールや電話では情報が不足する ・会議の時間が取りにくい このようなお客様のご要望にお答えするため、オンライン商品説明サービスをはじめました。 商品説明をテレビ会議形式で行うことにより、お客様と資料を共有しながら対面とほぼ変わらない打合せを行うことがで弊社製品をより深くご理解いただけると思います。 是非とも、お気軽にオンライン商品説明サービスをご利用ください。 ＜オンライン商品説明の流れ＞ ▼ STEP1｜お申し込み ▼ STEP2｜お申込み受付 弊社担当よりオンライン商品説明の日時とテレビ会議のリンクを メールにてお送りします。 ▼ STEP3｜オンライン商品説明 当日はメールに記載のリンクにアクセスし、テレビ会議を開始します。 テレビ会議は Microsoft Teams またはSkype for Businessを利用します。 ソフトのインストールは不要ですが、その他のサービスもご要望がありましたら遠慮なくご相談下さい。