WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ 自動バイパス弁付自動弁』

緊急時はバイパス弁も自動で遮断可能！薬液充填ラインなどで省スペース化に役立ちます

最終更新日 2023年01月06日

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ

最終更新日 2023年05月12日

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能

最終更新日 2023年04月18日

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさを追求した継手のご紹介

最終更新日 2023年05月12日

ベローズバルブ『IB』

デッドスペースを小さくしパージ時間の短縮化を実現！ストレートタイプのベローズバルブ

最終更新日 2023年01月06日

【ニードルバルブ】流量調整ニードルタイプ

正確に微少な流量を設定可能！耐熱性に優れた高温・高耐食仕様のニードルバルブ

最終更新日 2023年01月06日

【ベローズバルブ】可変流量バリアックタイプ

全開流量を任意に設定できるベローズバルブです。配管レイアウトの簡素化、及び省スペース化、コストの削減が可能！

最終更新日 2023年05月12日

加圧真空弁

高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タイプをラインアップ！

最終更新日 2023年04月19日

高純度液ガス用ダイヤフラムバルブ『WD』

半導体製造用の高純度液体材料に対応可能！ダイヤフラムバルブの高性能特性を持ったバルブ！

最終更新日 2023年05月12日

石英管対応　接続継手『SQ』

取り付けや取り外しを繰り返しても、信頼性の高い優れたシール性能を常に実現！安全で再現性のある石英管対応継手

最終更新日 2023年05月12日

自動溶接継手『SCL』

マニホールド配管施工の際、単管が不要！作業工数が減少する自動溶接用継手

最終更新日 2023年01月06日

自動溶接継手『SCM』

素材には超高純度配管用2重溶解材をオプションとして採用！コンパクトな溶接継手

最終更新日 2023年01月06日

自動溶接継手『SCF』

各接続端は自動溶接に適したネック付！高純度ガス供給用の溶接継手

最終更新日 2023年01月06日

ベローズバルブ『SBB』

コンパクトでかつ高Cv値・耐久性を兼ね備えたパイプサイズのベローズバルブ！

最終更新日 2023年01月06日

高純度ガス系　リプレイサブルシート バルブ『KD-E』

シートとダイヤフラムを交換可能なダイヤフラムバルブです。バルブを頻繁に交換・洗浄する用途に好適！ランニングコストの低減を実現

最終更新日 2023年05月12日

L型真空ベローズソフト排気バルブ『IVB/IVBL/IVBH』

スロー排気ライン用のバイパスバルブとメインバルブが一体構造になっている、省スペースのバルブ！

最終更新日 2023年05月12日

L型真空ベローズバルブ『IVB/IVBL』

半導体製造などで使われる耐食性に優れ幅広いガス種に対応可能！シンプルな構造でメンテナンスが可能なL型真空バルブ

最終更新日 2022年11月18日

L型真空ベローズホットバルブ『IVBHK』

最高250℃まで昇温可能なＬ型真空ベローズバルブ！マントルヒーターには熱電対と保護用サーモスタットを内蔵し異常加温を防止

最終更新日 2023年05月12日

L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵！弁体・ベローズを加熱できる真空バルブです。副生成物付着が減少！

最終更新日 2023年05月12日

メタルガスケットシール継手『IF』

大流量タイプに好適！回転フランジ採用により、狭い箇所での施工が容易

最終更新日 2023年01月06日

チェックバルブ『IC』

優れた内部シール性！低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止弁

最終更新日 2023年01月06日

Ｙ型ベローズバルブ『IBC/IBD/IBE』

大径サイズストレートタイプ！当社独自のＹ型構造により、より高いCv値を実現

最終更新日 2023年05月12日

メカニカル式メタルガスケット面シール継手『CVC』

傷付きやすいシール面に平坦鏡面加工と特殊硬化処理を施した、メカニカル式メタルガスケット面シール継手

最終更新日 2023年01月06日

クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない！小さな開閉トルクで操作が可能

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『高温（250℃）対応バルブ』

高性能、コンパクト、低価格を実現！均熱性を必要とする有機金属系の半導体プロセスに好適

最終更新日 2022年11月18日

リリーフ機能付ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

異常圧力が発生した際、配管内の圧力を下げる安全機能付きダイヤフラムバルです。シリンダーキャビネット等の安全対策に！

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『ツーステップバルブ』

１台で流量調整と全開／全閉の２段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。

最終更新日 2023年03月29日

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部（ASSY）は交換可能

最終更新日 2023年05月12日

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

最終更新日 2023年05月12日