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新型 PFA溶着機『PFMシリーズ』
タッチパネルで簡単操作！機能性、操作性ともにパワーアップしたPFA溶着機
最終更新日
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『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策 無料進呈中
真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の事例を進呈中
最終更新日
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『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中
半導体材料メーカー様 必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中
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高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ
材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。
最終更新日
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高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』
高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。
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『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様 必見！分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中
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『事例集』半導体製造用バルブのヒューマンエラー対策※無料進呈中
【特に人気のある3事例をまとめて進呈中！】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集
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『事例』 高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるＰＦＡ樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
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『事例』 手動ダイヤフラムバルブの安全対策 ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要！ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中
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『事例』 隣接装置の振動による継手緩み防止対策 ※無料進呈中
隣接装置の振動対策に。継手の緩みをしっかりサポート。安全対策の事例を進呈中
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『事例』 原料容器接続継手の安全対策 ※無料進呈中
容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
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『事例』半導体製造装置 排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中
デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？ KITZSCTは排気系ラインの省スペース化設計/施工性向上をお助けします。
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『事例』 ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策 ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中
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『事例』 装置輸送時のバルブハンドル緩み防止対策 ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
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『流路まるごと事例集』 原料容器用バルブの安全対策 ※無料進呈中
半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。
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『事例』ガス供給ラインバルブの安全対策 ※無料進呈中
『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！
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開閉表示用磁気近接スイッチ
IVBシリーズ用！バルブの開閉状態を検知する磁気近接スイッチのご紹介
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角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
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樹脂溶着継手『TBNシリーズ』
漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂製溶着継手！ 配管スペースを大幅に縮小、スリーブを真っ直ぐ挿入しやすく施工ミスを防ぎます
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APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』
チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現
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真空バタフライバルブ『IVWFシリーズ』
半導体真空装置の真空排気ラインに設置できるシンプルな構造を持ったバタフライバルブ！
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デジタル温度コントローラー『IVBH-C015』
内部・外部ヒーターを同時に加熱可能！IVBH用PID制御デジタル温度コントローラー
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WET系樹脂バルブ『FCDT』（200℃対応高温樹脂弁）
自動弁はインジゲータ（開閉表示）を標準装備！ 手動弁はLOTO（鍵）機構付で安全対策にも使用可能
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WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』
クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意
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真空フランジ ボールバルブ『BRWシリーズ』
NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！
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WET系バルブ『FCDNシリーズ 流量調整＋バイパス付自動弁』
流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁！
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WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ バイパス付自動弁』
バイパス弁開度の調整で節水も可能！バルブ閉時にも流体の滞留を防ぎます
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WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ 流量調整付自動弁』
全開流量を任意に設定可能！クリーンで使いやすい自動弁のご紹介
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液だれ防止 WET系樹脂バルブ『FCDシリーズ サックバック弁』
ノズル先端からの液だれを防止！塗布工程や薬液充填工程等で、定量精度の向上に役立ちます
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