高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『VLDシリーズ』

駆動部品数の最小化、単純化を実現！半導体用高純度ガスに対応し、パーティクル性能を極限まで追求したダイヤフラムバルブ

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOTO機構付きもご用意！繰返し着脱でのシール性能を高めています

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系バルブ『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能！手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています

最終更新日 2024年11月15日

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能！お客様の使い勝手に配慮したデザインコンセプト！

最終更新日 2023年05月12日

高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』

コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手動弁と自動弁をご用意！

最終更新日 2023年05月12日

高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』

安全・高耐久・パーティクルフリーを実現！アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ

最終更新日 2023年05月12日

高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ

最終更新日 2023年05月12日

高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータイプをラインアップしています

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態 或いは OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能な高純度ガス系LOTOバルブ

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『KDシリーズ』

半導体製造プロセス用高純度ガスに対応！高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『KCDシリーズ』

「KDシリーズ」をベースに更なるコンパクト化を実現！基本性能は「KDシリーズ」を全て受け継いだハイスペックバルブ

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系　2連3方バルブ（ブロックタイプ）

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性！特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

最終更新日 2023年05月12日

高純度ガス系　2連3方バルブ（フリッカータイプ）

バルブボックス自体の省スペース化が可能！　コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。

最終更新日 2023年05月12日