マーポス株式会社 公式サイト

チップ製造のサイクルタイム短縮と高品質を実現！ウェーハ切断中のブレード監視用センサー

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

サイクルタイムを短縮！汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

【その他の特長】 ■汎用性があり、簡単に使えるように設計されている ■機械によって制御される全ての各単一ユニットはセンサーのネットワークで接続できる ■独自の技術により、様々な部品(反射性が高い、面が粗い、不透明な物など)の 　測定をすることが可能 ■改良したエレクトロニクスユニットにより、測定時の連続データを保存し、 　ポストプロセスの測定詳細、品質管理と機械性能評価のために使用出来る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

厚いウエハから極薄ウエハ（1μm未満）まで厚さ測定が可能

仕様はカタログよりご参照ください。

インターフェロメトリック（干渉計）技術を使用し、透明、不透明のフィルムの厚さ測定が可能

仕様はカタログよりご参照ください。

デリケートなワークを傷つけず、破壊検査なしで高品質なワークを生産可能。ワークや環境の変動に強い完全同期システムです。

【カタログ掲載内容】 ■ クロマティックコンフォーカル原理 ■ ChromaPoint（クロマポイント）センサーヘッド ■ ChromaPoint（クロマポイント）コントローラー ■ ChromaLine（クロマライン）センサーヘッド ■ ChromaLine（クロマライン）コントローラー ■ ChromaVision（クロマビジョン）カメラ ■ アプリケーション例（各種距離、厚さ測定、表面粗さ測定、品質管理） ■用語集 ■お問い合わせ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。