【クリーンルーム向け】高精度多孔質セラミックス真空チャック
クリーンルームでの無塵搬送を、軽さと強度で支えます。
クリーンルームでの無塵搬送においては、微細な異物混入を防ぎ、製品の品質を維持することが求められます。特に、デリケートなワークの搬送では、接触による汚染や傷のリスクを最小限に抑えることが重要です。当社の高精度多孔質セラミックス真空チャック・ロール『エアロフィックス』は、これらの課題に対し、非接触での搬送を実現し、ワークの汚染リスクを低減します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内での基板搬送 ・半導体製造工程でのウェハー搬送 ・精密部品の無塵搬送 ・フィルムの非接触搬送 【導入の効果】 ・ワークの汚染リスク低減 ・搬送時の傷つき防止 ・クリーン度維持による品質向上
基本情報
【特長】 ■静電気防止材料として極薄基板などワークの防汚課題を解決 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■部分吸着可能 ■省スペースを実現するサクションロール ■ワークの汚染リスクを低減する非接触浮上搬送を実現 ■既存装置にポンと置くだけで簡便＆コストダウン 【当社の強み】 当社では、特殊砥石・真空吸着プレート・平面研削盤の製造販売、精密研削・研磨・ダイシングの受託加工事業を展開しております。長年の経験と技術に基づき、お客様のニーズに合わせた製品を提供いたします。高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』も、お客様の生産性向上に貢献できるよう開発されました。ご用命の際はお気軽にご連絡ください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
『エアロフィックス』
用途／実績例
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