ワークの変形・吸着痕を防ぐ！高精度多孔質セラミックス真空チャック
【穴あきチャックの課題解決】2μmの気孔で薄物基板の「たわみ・吸着痕」ゼロへ！部分吸着で交換の手間も削減＜無料サンプル貸出中！＞
『エアロフィックス』は、2μmの微細かつ均一な気孔により、 薄型基板やフィルムのたわみ・歪み・サクションマークを抑え、 歩留まり向上に貢献する多孔質セラミックス真空チャックです。 部分吸着によりワークごとのチャック交換の手間を減らせるほか、 研磨時のワックス固定関連工程の削減にも貢献します。 当社では、用途や課題に応じて組成・形状・サイズを調整でき、 ウェット・高温環境への対応などの技術要望にも柔軟に対応可能です。 【特長】 ■完全焼結で内部からの発塵がなく、高耐久性も備える ■除電特性によりイオナイザーなどの追加設備が不要 ■据え置き型「トッププレート」は既存の真空チャック上に置くだけで締結不要 ■G8サイズ対応の平面タイプからロールタイプ（サクションロール）まで製作可能 ■ドライ環境だけでなくウェット環境や高温環境（150℃まで）にも対応 ★当社では無料サンプル貸出やナノテム社内での持ち込み実験にも 対応しております。ご希望の方はお気軽にご連絡ください。 ※本製品の詳細は資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【導入メリット例】 ◎サクションマーク・たわみの解消 フィルムや極薄基板を歪みなくフラットに吸着固定・高速搬送 ◎ワックス固定・洗浄工程の削減 人工サファイア基板やLCD・LED研磨時のワックス貼り・剥がし・ 洗浄作業を不要にし、作業効率の向上とコスト削減に貢献 ◎精密・安定浮上搬送 非接触浮上（精密浮上）でレーザーアニールなどの工程における ピント合わせを容易にし、品質と作業効率の向上に貢献 ◎異物汚染・静電気トラブルの防止 内部からの発塵なし＆除電特性により、歩留まり低下につながる汚染・帯電リスクを排除 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
型番・ブランド名
エアロフィックス
用途／実績例
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
