半導体製造装置向けPFAコーティング
高純度・低パーティクル性に優れた表面処理 PFAコーティング
半導体製造分野では、薬品耐性だけでなく低パーティクル性や非汚染性、高純度といった厳しい要求が求められます。PFAコーティングは耐薬品性と耐熱性に優れるだけでなく、緻密で欠陥の少ない塗膜を形成できるため、薬液やガスの浸透を抑制し、パーティクル発生やイオン溶出のリスク低減に寄与します。こうした特性により、半導体製造装置や関連部品の表面処理として広く活用されています。高信頼性が求められる環境においても安定した性能を発揮できる点が特長です。 用途や使用条件に応じた最適仕様の提案や評価試験にも対応可能ですので、技術相談・試作検証については当社までお気軽にお問い合わせください。
基本情報
PFA(パーフルオロアルコキシアルカン)は、PTFEをベースに改良されたフッ素樹脂で、優れた非粘着性、耐熱性、耐薬品性、電気特性を有しています。溶融時の流動性が高いため、コーティング時に緻密で平滑な塗膜を形成できる点が特長です。ピンホールやボイドの少ない高品質な塗膜により、耐食性や絶縁性の信頼性を高めることが可能です。厚膜化にも対応でき、薬品環境や高温環境での長期使用に適しています。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ふっ素樹脂コーティング PFAコーティング
用途/実績例
・化学設備(タンク、配管、攪拌部品) ・半導体製造装置部品 ・搬送部品、ガイド部品 ・食品・包装設備 【効果】 ・耐薬品性向上 ・防食性能向上 ・絶縁性向上 ・非粘着性・すべり性付与 ・長期信頼性向上
カタログ(1)
カタログをまとめてダウンロードおすすめ製品
取り扱い会社
当社は、各種産業部品へのフッ素樹脂・PEEKコーティングなどの機能性コーティングを提供する受託加工メーカーです。 特にフッ素樹脂コーティング(PTFE・PFA・FEP・ETFE)を中心に、非粘着性、離型性、耐薬品性、耐熱性、低摩擦性を付与するコーティング技術を提供しています。 食品機械、半導体製造装置、化学装置、医療機器、産業機械など幅広い分野の部品加工に対応しています。 また近年は、PFAS規制への対応ニーズの高まりを背景に、PEEKコーティング(PFASフリー)の提案も強化。高耐熱・高耐薬品環境で使用される部品の保護や長寿命化に貢献しています。 さらに、帯電防止コーティング、耐摩耗コーティング、低温焼成タイプのふっ素系コーティングなど、多様な機能性コーティングをラインナップ。 金属だけでなくアルミニウム、ステンレス、樹脂、ゴムなど幅広い基材への加工実績があります。 用途や使用環境に合わせた最適なコーティング仕様の提案から試作評価、量産加工まで一貫対応し、付着防止、離型改善、摩擦低減、耐薬品性向上、耐熱性向上などの課題解決をサポートしています。


















































