半導体製造装置向けプライマーレスフッ素樹脂コーティング
プライマー不使用で不純物の溶出リスクを低減。クリーン環境の要求に応える高清浄フッ素樹脂コーティング。
■プライマー由来のコンタミを抑え、最先端ラインの清浄性維持をサポート 半導体製造装置の部品表面においては、微量な不純物の溶出（アウトガスや金属イオン）が製品の品質に重大な影響を及ぼすため、表面処理の清浄性が極めて厳格に求められます。 従来のフッ素樹脂コーティングは、金属との密着性を担保するためにプライマーを塗布する多層構造が一般的でしたが、この成分が特定のクリーン環境下ではリスク要因となる場合がありました。 当社の「HYPERCOAT」は、独自の真空プロセス技術を応用し、プライマーを一切使用せずに金属基材へ直接フッ素樹脂塗膜を形成することに成功。 プライマーに起因する不純物溶出の低減に努め、極めて高い清浄仕様を追究しています。 ■清浄性と密着性へのアプローチ 【プライマーレスの一層構造】 構成成分を純粋なフッ素樹脂のみに絞り込むことで、アウトガスの発生源を最小限に抑制。 【実用レベルの密着性を確保】 独自の真空成膜により、下地剤なしでも剥がれにくい皮膜特性を両立。 最先端分野の要求仕様に合わせた評価試作や、詳細な技術相談にも丁寧に対応いたします。
基本情報
■真空成膜により下地剤を排除し、フッ素樹脂の純度を活かす独自の受託加工 半導体や精密電子部品の製造プロセスにおいて、薬品接触や真空環境下でのアウトガス対策として設計された非粘着・高清浄皮膜です。 ■HYPERCOATの技術的特長 【純粋なコーティング層】 金属基材にフッ素樹脂を直接定着させるため、不純物溶出の可能性を穏やかに低減。 【樹脂本来の機能性を維持】 優れた非粘着性、耐薬品性、耐熱性を発揮し、微細なプロセス環境の安定化を支援。 【多様な先端素材へ施工】 ステンレスをはじめ、熱処理にデリケートなアルミニウム合金など、幅広い金属基材へ対応。
価格帯
納期
型番・ブランド名
HYPERCOAT
用途／実績例
■高純度プロセスや薬品洗浄工程において、コンタミ防止に寄与した施工事例 半導体分野を中心とした先端産業の設備部品へ適用することで、プロセスの信頼性向上を後押ししています。 ■主な用途と対象製品 【半導体製造装置部品】 各種チャンバー内装部品、ウエハ搬送周辺パーツ 【精密アルミニウム部品】 アウトガスが課題となる真空装置内のアルミニウム製筐体・トレイ 【薬品・洗浄工程】 高純度化学薬品の供給ライン配管、バルブ、洗浄装置の金属部品 【高純度要求設備】 分析装置のセンサー保護部、超純水ラインの構成部品 ■導入によって期待できる効果 【不純物混入のリスク低減】 下地剤の劣化や分解による突発的なコンタミの発生防止をサポート。 【装置のメンテナンス性向上】 優れた耐薬品性と非粘着性により、薬品洗浄時の汚れ落ちをスムーズにし、保全工数を削減。
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取り扱い会社
当社は、各種産業部品へのフッ素樹脂・PEEKコーティングなどの機能性コーティングを提供する受託加工メーカーです。 特にフッ素樹脂コーティング（PTFE・PFA・FEP・ETFE）を中心に、非粘着性、離型性、耐薬品性、耐熱性、低摩擦性を付与するコーティング技術を提供しています。 また近年は、PFAS規制への対応ニーズの高まりを背景に、PEEKコーティング（PFASフリー）の提案も強化。PEEKコーティングをはじめとし、高耐熱・高耐薬品環境で使用される部品の保護や長寿命化に貢献しています。 【多様なコーティングブランド】 ■非粘着・離型コーティング ■耐薬品・腐食防止コーティング ■耐摩耗コーティング ■帯電防止コーティング ■低温焼成タイプのフッ素系コーティング ■プライマーレスフッ素樹脂コーティング 金属だけでなくアルミニウム、ステンレス、樹脂、ゴムなど幅広い基材への加工実績があります。用途や使用環境に合わせた最適なコーティング仕様の提案から試作評価、量産加工まで一貫対応し、付着防止、離型改善、摩擦低減、耐薬品性向上、耐熱性向上などの課題解決をサポートしています。