洗浄ユニット『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

最終更新日 2025年10月08日

洗浄ユニット『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールのご紹介！

最終更新日 2025年10月08日

洗浄ユニット『ファインソニック』

バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能

最終更新日 2025年10月08日

ファインシリーズ洗浄ユニット

サブミクロンのパーティクルを750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄

最終更新日 2025年10月22日

洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』

シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄に好適

最終更新日 2025年11月05日

ウルトラソニック洗浄ユニット

超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去！磁気ディスク等の洗浄に好適

最終更新日 2025年10月22日

半導体ウェハー向け洗浄ユニット『PA10-Q60AE-S』

基板直近照射で効率的に微粒子を除去。高周波メガソニックを用いた精密ウェハー洗浄ユニット。※デモ機あり

最終更新日 2025年12月11日