スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。 ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。 スピンソニッククリーナーは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。 さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。