LEDハイパワーユニット（ラジカル洗浄ユニット）
長時間のランニングを実現！脱水銀社会に向けて、深紫外LEDを搭載した洗浄液処理ユニット
『LEOユニット PT-0878LEO』は、コンパクトな設計と紫外線の 局所的な照射を実現し、小流量でのプロセス処理を可能にした 赤外線(UV)LEDハイパワー洗浄ユニットです。 水銀ランプと比較して長時間のランニングを実現。オゾン水への深紫外光を 組み合わせて、高効率なOHラジカルを発生し、有機物助教に貢献します。 ウイルスなどへの高い殺菌力から医療分野、食料品分野での活用も 期待される製品です。 【特長】 ■脱水銀社会に向けて、深紫外LEDを搭載した洗浄液処理ユニットを実現 ■水銀ランプと比較して長時間のランニングを実現 ■コンパクトな設計と紫外線の局所的な照射を実現し、小流量での プロセス処理を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の特長】 ■オゾン水への深紫外光を組み合わせて、高効率なOHラジカルを発生し、有機物助教に貢献 ■OHラジカルの特長として、酸化力が高く有機物や還元性物と反応処理が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■シリコンウェハー、フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク等の洗浄、CMP後の洗浄、枚葉式洗浄 ■医療分野、食料品分野 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
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