【電子部品向け】ラジカル洗浄ユニット
高効率OHラジカル生成！省スペース設計で、電子部品の表面処理を最適化。
電子部品業界の表面処理工程では、微細な有機物や金属汚染の除去が、製品の品質と信頼性を左右します。特に、高密度化が進む電子部品においては、コンタミを徹底的に除去し、高品質な表面処理を行うことが重要です。ラジカル洗浄ユニットは、高効率なOHラジカル生成により、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・フォトレジスト除去 ・金属膜酸化防止 ・有機・金属汚染除去 【導入の効果】 ・洗浄効率の向上 ・環境負荷の低減 ・製品品質の向上
基本情報
【特長】 ・コンパクトサイズで省スペースに設置 ・リニアな発光制御が可能 ・環境負荷を抑えつつ高効率な洗浄が可能 ・半導体製造、医療機器、食品加工など応用分野が広い ・ユニット内部の分割制御により、劣化時のフィードバック設定が可能 【当社の強み】 当社は、半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、お客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売などを行っている会社です。顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポートしています。
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当社は、半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、 お客様の用途、製造ライン等に対応した各種装置の開発・設計・製造及び販売 などを行っている会社です。 顧客仕様に基づくカスタマイズ生産に特化し、設計、開発、組立て、検査、 据付、保守に至るまで製品のライフサイクルをトータルにサポート。 すべての工程で顧客と密接な関係を構築することで直接、顧客の考える問題点や 技術トレンドを感じ取り、それに応じた開発にいち早く着手しています。