カセットレス洗浄装置

品質と省エネを高い次元で両立。少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに

最終更新日 2025年10月22日

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄

最終更新日 2025年10月22日

洗浄ユニット『ファインソニック』

バッチ式メガソニック！750kHzや2000kHzなど多彩な周波数を選択可能

最終更新日 2025年10月08日

洗浄ユニット『ファインスコール』

小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールのご紹介！

最終更新日 2025年10月08日

洗浄ユニット『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

最終更新日 2025年10月08日