角基板・フォトマスク向けスピン洗浄ユニット
フォトマスク基板等の四角基板に対応。上下両面からの洗浄液供給と高速回転による乾燥まで、同一ユニット内で一貫処理を実現。
本製品は、フォトマスク基板をはじめとする四角い形状の基板（角基板）を効率的に洗浄・乾燥するために設計されたスピン洗浄ユニットです。 ■角基板に特化した洗浄プロセス 一般的に回転処理が難しいとされる四角い基板に対し、安定したスピン洗浄を提供します。 主に152×152mmサイズのフォトマスク基板を想定していますが、様々なサイズの角基板へ対応可能な設計です。 ■洗浄から乾燥までワンユニットで完結 洗浄工程に続いて高速回転による乾燥処理を同一ユニット内で行います。 基板を移動させることなく一連の工程を完了できるため、タクトタイムの短縮に貢献するだけでなく、移動時の再汚染リスクを低減し、高い洗浄品質を維持します。 ※詳しくはカタログをダウンロードしてご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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