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非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数

【アプリケーション】 非接触による3次元形状測定が可能です。 接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。 ■家電（スマートフォン） ・LCDガラス ・OLEDマスク検査 ・表面の細かいスクラッチ等のキズ ・ワイヤボンディング ・ARグラス ■半導体製造プロセス ・ウエハエッジ形状測定 ・ウエハエッジ欠陥検査 ・ウエハダイシング溝外観検査 ・BGA検査 ・ICパッケージや回路検査 ■自動車関係 ・バルブ検査 ・車の内装 ・ガラス検査 ・エアバッグの溶接ビードの検査

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの厚さを計測できます

【その他特長】 ■オペレーターが高い研削レートを達成でき、結果として加工時間が著しく短縮 ■工程の最後に再びレートを下げ、ウエハーの滑らかな仕上げを維持可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

12'ウエハ全面検査を高速化　ウエハ全数検査にも使用可能

■概要 　・ハードウェア（筐体、光学厚みセンサ、エリアスキャナ、電気キャビネット）、 　　ソフトウェア（SEMI準拠ソフトウェア）一体型のシステム。 　・最大70kHzの高速測定 (XY 160umピッチで、12'ウエハを約2分で測定） 　・Z分解能1nm~ ■厚み測定範囲 　下記光センサにより、厚み測定範囲が変わります。 CHRocodile 2 IT DW 250: 15~1500um CHRocodile 2 IT DW 500: 26~2500um CHRocodile 2 IT DW 1000: 66~7200um *厚みは光学長。Si厚み換算は、Siの屈折率で、上記厚みを割ってください。

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

不透明体の厚み高精度測定なら、Enovasenseの レーザフォトサーマルセンサ。材料に依らず、最小10nmから厚み測定可能。

■厚み測定範囲 　10nm~1mm ■測定精度 　0.5~3%以下 ■ビームスポット径 　φ0.15mm以上 ■測定モード 　位相シフト、振幅 ■製品ラインナップ 　プローブ(ワーキングディスタンス、ビームスポット径）、 　レーザー（波長、パワー）にて複数ラインナップあり

従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定センサも登場。非接触で透明体だけでなく不透明体の厚みも測定

【原理】 当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。 ■色収差共焦点 主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。 ■分光干渉法 主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。 In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。 ■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ） レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。 【製品ラインナップ】 ・シングルポイントセンサ 高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。 ・ラインセンサ 色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。 ・エリアスキャナセンサ 2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。 振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。

フィルムやコーティング、非接触の厚み測定を安価な距離センサーで。斜面にも強く、距離方向分解能20nmを実現！

【CHRocodile C】フットプリントの少ないプローブ一体型タイプ ■特徴 ・スキャンレート４KHz ・光源：白色LED光源 ・測定レンジ： 200um~10mmで５種類　　　　　 ・厚み測定で単層、複数層まで測定可能（最大3層）まで ・同期I/O機能付 ・IF:Ethernet/RS422 ・HS(高感度モデル）あり ・外付ボックスにてエンコーダー、アナログ2ch取込可能 ・外寸 99 x 65 x 47 mm (プローブ無し） ・重量 440g ■特徴 【CHRocodile Mini】測定部省スペースのプローブ別体タイプ ・スキャンレート４KHz（オプションで10kHz) ・光源：白色LED光源 ・測定レンジ： 4mm 10mmの2種類　　　　　 ・厚み測定で単層、複数層まで測定可能（2層、オプションで４層）まで ・同期I/O機能付 ・IF:Ethernet/RS422 ・Mini+モデルでは、アナログ出力2ch、エンコーダー3軸入力対応 ・外寸 95 x 106 x 95 mm (コントローラ） ・重量 500g(Mini+は550g)

厚み・形状測定の高精度・高速測定の組み込み光センサ

■シングルポイントセンサ 　CHRocodile 2S 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大70kHz ■デュアルポイントセンサ 　CHRocodile 2DPS 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大10kHz ■デュアルポイントセンサ(ハイパワー） 　CHRocodile 2DPS HP 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大40kHz