静電気スキャナ
半導体製造プロセスで求められる、静電気分布の高精度な可視化ソリューション！
当社で取り扱う、半導体のための静電気対策「静電気スキャナ」について、 ご紹介いたします。 非接触·非破壊·短時間で表面電位分布を1mm単位で可視化。帯電の位置・ 大きさ・除電後の効果までも定量的に測定できます。 今まで見えなかった“静電気の影"を、数値で可視化。それは、 静電気トラブルを予測し、回避するための新しい指標となります。 【特長】 ■表面電位分布を1mm単位で可視化 ■1mm×1mmの分解能 ■最大150mm×150mmの範囲を測定 ■±1000V±10％の測定精度 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【測定性能(一部)】 ■測定対象：表面電位 ■測定範囲：±1000V ■測定精度：±10％(50V以上) ■測定分解能：1mm ■測定面積：150mmx150mm ■同時測定点数：30点 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
