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ドライソルベントHS供給機 C27A
ドライソルベントＨＳ供給
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薬液供給装置（キャニスタユニット） P82
酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しＮ２による加圧圧送により原液を供給するための装置です。
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高圧ポンプユニット KPM-40B
独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できる高圧ポンプユニット ＣＳＰ等のダイシングとバリ取りを1台で行うことができます。
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組込用小型高圧ポンプ FSBL-50
電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。
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昇圧ポンプユニット PU300A
各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
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連続式スラリー供給装置 P85
特許取得の調合方法で当社従来比15％以上のコストダウンを実現！燃料電池・二次電池の触媒スラリーの供給用途等に応用も可能！
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組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ
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昇圧ポンプユニット PU201A
運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能！各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに
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高圧ポンプユニット KPWシリーズ（組込用）
エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに好適！低圧から高圧まで調整可能
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真空ポンプユニット（装置組込型） P94
水滴・水蒸気を含む気体の吸引に適した水封式真空ポンプユニット！
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水冷式 YAGレーザ冷却装置 P14
YAGレーザの発光時の発熱を純水で冷却する 水冷式YAGレーザ冷却装置
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超純水加熱装置
加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。
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簡易スラリー供給装置 P65
ウエハ研磨用
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添加剤滴下装置 P101
本装置は添加剤を切削水に混合する為の装置です
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温風乾燥ユニット M49
カスタマイズ可能な温風発生装置
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電子冷却プレート C11
ペルチェ素子を用いた冷却装置。
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薬液供給装置（連続式） P112
プロセス装置に連続で薬液を供給
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CMPスラリー供給装置 P108
本装置はCMP装置に連続してスラリー液を供給するためのもので、2種2系統を供給する機能を有する。
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ＰＦＡヒーター
ヒーター部がPFA被覆されている為耐薬品性を示すＰＦＡヒーター
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