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小型カーボン炉｜3000℃級・低酸素雰囲気での用途例
黒鉛化・炭化・焼結・高温反応評価など、小型カーボン炉の用途を紹介
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小型カーボン炉｜なぜ極低酸素・3000℃級が可能なのか
残留酸素を抑えながら3000℃級へ。小型カーボン炉の構造と原理を解説
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小型カーボン炉｜低酸素・超高温処理が求められる背景
乾式還元・黒鉛化・炭化処理に向けた、小型カーボン炉の開発背景を解説
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小型カーボン炉｜酸化を抑えて3000℃級処理を実現
2,000〜3,000℃級の高温処理で、酸化・特性ブレを抑える小型カーボン炉
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小型塩素炉｜腐食性ガスを安全に扱うための設計・運用ポイント
Cl2・HClのリーク、腐食、除害リスクを抑える小型塩素炉の安全設計
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小型塩素炉｜湿式・磁選では難しい金属不純物除去に対応
湿式処理の廃液・乾燥工程を減らし、選択塩素化で金属不純物を除去
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小型塩素炉｜金属塩化物の選択揮発による不純物分離
Cl2・HClで金属不純物を塩化物化し、母材を残して選択分離
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小型塩素炉｜MOCVD治具・石英ボートの付着物除去に対応
GaN・AlN・Si系付着物をCl2/HClで塩化揮発し、治具をドライ洗浄
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小型塩素炉｜セラミックス粉の金属不純物を乾式除去
SiO2・Al2O3・Si3N4粉末中の金属不純物を、母材を残して選択除去
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小型塩素炉｜CNT・黒鉛・カーボンブラックの高純度化に対応
CNT・黒鉛・カーボンブラック中の金属不純物を、Cl2/HClでドライ除去
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小型塩素炉｜選択塩素化・腐食性ガス雰囲気試験に対応
選択塩素化・治具洗浄・腐食性ガス評価に対応する小型ハロゲン炉
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サンプル温度・流量・圧力を計測できる管状炉
サンプル温度・ガス流量・圧力を計測し、反応挙動を見える化
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マルチ雰囲気炉｜雰囲気焼成から熱CVDプロセスまで対応
ガス切替＋加湿/気化器ユニットで、焼成・反応評価・熱CVDを1台で検討
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小型カーボン炉｜極低酸素・3000℃級の高温処理に対応
極低酸素×3000℃級で、黒鉛化・炭化・超高温焼成を安定処理
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小型メタル炉｜炉材コンタミ・アウトガスを抑える高純度熱処理
金属ホットゾーンで、断熱材・炉材由来のアウトガスや発塵を抑制
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