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小型塩素炉「連載」スタート
小型塩素炉の開発背景や、装置の仕様、運用ポイントなどを分かりやすくご紹介！
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小型塩素炉＜金属塩化物の選択揮発による不純物分離＞
塩素/塩化水素で不純物を塩化物化！蒸気圧差と段階温度で優先揮発します
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小型塩素炉＜サセプタ・石英治具を乾式塩素化で洗浄＞
堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
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小型塩素炉＜セラミックス粉の金属不純物を乾式塩素化で除去＞
セラミックス粉に混在するFe/Ni/Crなどを、塩化揮発で選択的に揮発する！
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小型塩素炉＜カーボン粉の金属不純物を乾式塩素化で除去＞
負圧運転と酸素分圧制御で母材を守り、乾式で廃液を最小化！
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小型塩素炉
禁水性の製品や多量の廃液を発生させたくない金属除去プロセスや反応制御炉として適用！
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管状炉
サンプル温度・ガス流量・圧力などの計測が可能！反応メカニズム解析や新規素材の試験条件を最適化
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マルチ雰囲気炉
小型・高気密設計！複雑な反応条件下での焼成プロセスを1台で再現可能
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小型カーボン炉
酸素濃度を極限まで低減でき、酸化を防止！炭素材料の結晶化度向上により、寿命や性能を大幅アップ
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小型メタル炉
炉内がメタル材料で構成！断熱材などによる炉内の汚染を低減可能な加熱炉
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