マルチ雰囲気炉｜液体原料を気化導入する熱CVDコーティング炉
気化器＋マルチ雰囲気炉で、狭隙・内面・凹部への熱CVDコーティングを検討
従来のコーティングでは、原料溶液を部材表面に塗布し、乾燥後に電気炉で焼成する方式が一般的です。 しかし、狭い隙間、内面、凹部、段差部を持つ部材では、塗布ムラや未塗布部が発生しやすく、塗布量・乾燥収縮・焼成後膜厚のばらつきが課題になる場合があります。 当社のマルチ雰囲気炉は、Wetter方式だけでなく、気化器を接続することで、液体原料や有機金属前駆体を気化導入する熱CVD炉としての構成も検討可能です。 気化器で原料を安定供給し、キャリアガスで炉内へ導入することで、部材表面に気相反応による膜形成・コーティングを行うプロセス開発に活用できます。 【特長】 ■ 液体原料・有機金属前駆体の気化導入に対応 ■ 熱CVD、表面改質、コーティング条件の検討が可能 ■ 狭隙、内面、凹部、段差部を持つ部材への成膜を検討可能 ■ 塗布・乾燥工程の省略による工程短縮を期待 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
基本情報
【基本構成】 ■ 炉体：マルチ雰囲気炉 ■ 原料供給：気化器による液体原料・前駆体供給 ■ キャリアガス：Ar、N2など用途に応じて選定 ■ 雰囲気：不活性、還元、反応性ガスなど条件に応じて対応 ■ 排気・除害：原料・副生成物に応じてスクラバー等を検討 【対応できること】 ■ 液体原料を気化導入した熱CVD処理 ■ 部材全体への一括コーティング ■ 狭隙、凹部、内面、接粉部への成膜性評価 ■ 膜厚、密着性、表面状態、再現性の確認 ■ 塗布方式から気相成膜方式への置き換え検討 【気化器方式のメリット】 ■ 原料供給量を制御しやすい ■ 塗布ムラ・未塗布リスクを低減しやすい ■ 作業由来コンタミの低減に貢献 ■ 塗布・乾燥・焼成に分かれていた工程を簡略化できる可能性 ■ 複雑形状部材への均一処理を検討しやすい ※仕様は原料種類、気化温度、処理温度、雰囲気、排気処理条件に応じてカスタム可能です。
価格情報
※炉内寸法、最高温度、対応ガス種、気化器仕様、原料供給系、排気・除害仕様、安全機器構成により価格が変動します。詳しくはお問い合わせください。
納期
用途／実績例
【用途】 ■ 接粉部、内面、凹部、狭隙部を持つ部材のコーティング ■ 半導体・セラミックス製造用治具の表面改質 ■ 粉体接触部材、サヤ、トレイ、ホルダーの耐食・耐摩耗性向上検討 ■ 液体前駆体・有機金属溶液を用いた熱CVD条件探索 ■ 塗布方式から気化器方式へのプロセス置き換え評価 【このような課題に】 ■ 狭い隙間や内面に塗布しにくい ■ 接粉部や段差部に未塗布部が発生する ■ 塗布量や乾燥収縮により膜厚がばらつく ■ 塗布、乾燥、焼成の工程が多く、工数がかかる ■ 部材全体を一括でコーティングしたい 原料、部材材質、処理温度、膜厚目標、排気・除害条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。
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取り扱い会社
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。