2024年03月15日
ティー・ケイ・エス株式会社
今後大きな需要が期待されるLiDAR用途など、多層化と高再現性が求められる高機能光学フィルター等の光学薄膜に特化した装置です。高品質かつ安定生産に力を発揮します。 ・シリンダー型カソードによる、ターゲット消耗による膜質変化の影響を廃した製膜 ・リアクティブイオンソースの搭載による、酸化膜の安定成膜 ・最大４基のカソードの搭載による、幅広い多層膜の成膜
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
装置基本仕様 ■シリンダー型カソードとターゲットの採用 ▶ターゲット寿命は長く、その寿命末期まで成膜レートの変動は極小 ■最大４基のカソードを搭載可能 ▶各種ターゲットの組み合わせによる、幅広い光学特性フィルターの生産が可能 ■リアクティブ成膜用イオンソースを搭載 ▶成膜時のイオン照射による基板上での酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 ■大型基板への成膜 ▶300mm もしくは 280×330×50 mm サイズの基盤（フラット、曲面）まで対応 ▶基盤加熱機構も組み込み可能
