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【装置カテゴリ】 超音波接合装置

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安定した接合を実現する 接合プロセスの精密制御技術を搭載 ・プロセス条件のデジタル設定機能 ・プロセスモニタリング機能 ・パワーデバイスから微細ピッチ半導体に対応する装置ラインナップ

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