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オーダーメイド ガス分析システム
多彩な分野において、ものづくりの研究開発・品質管理に貢献中！
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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
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キヤノンアネルバ株式会社 会社案内
社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
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測定球『ミニチュアゲージ』
取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行うことが可能
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真空計『ピラニゲージ』
低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプなどをご用意
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軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』
圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した絶対圧力を測定可能。
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アイソレイトバルブ『V-025SV』
特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
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ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』
軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません
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超高真空バリアブルリークバルブ
全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます
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L型バルブ『Vシリーズ』
豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用
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あら引きバルブ『Vシリーズ』
小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適
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超高真空L型ポリイミドバルブ
ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能
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超高真空L型オールメタルバルブ
優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能
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真空部品『電流端子』
超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れています
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真空部品『直線導入機』
構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
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回転導入機(磁気結合型・ベローズ式)
3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可能！
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補助材料
モリペースト500は低速で重荷重の個所の潤滑に有効！シースヒータなどの補助材料のご紹介
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真空部品『超高真空ビューイングポート』
広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があります
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真空部品『真空スイッチ』
大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信号が取り出せます
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真空部品『クイックカップリング』
クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O"リングの選択が可能です
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ICF付接続部品(フィッティング・アダプタ)
ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能！種類が豊富ですので、用途に合わせて使用できます
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超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』
シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの完全対称形フランジ
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真空ポンプ『フォアライントラップ』
簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します
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POWER Ecoシリーズ 高性能省エネルギー型クライオポンプ
小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています
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POWERシリーズ 高性能クライオポンプ(小型)
吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
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真空ポンプ『コンビネーションポンプ』
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
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チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ
オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です
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極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』
40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
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真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
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イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』
新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
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