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マイクロ流路

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MEMS技術
異種材料接合
マイクロプレート
マイクロ流路
精密治具・精密金型
薄膜回路基板（サブマウント・キャリア）
水晶振動子、水晶発振器
セラミックス製すべり軸受
貴石（アルミナ製軸受）
サマリウムコバルト極小磁石
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自動化・省力化装置
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水晶振動子片

マイクロ流路

マイクロ流路

マイクロ流路

MEMS技術・機能性薄膜技術を用いて微小液体を高精度に制御する！測る！

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水晶振動子、水晶発振器
セラミックス製すべり軸受
貴石（アルミナ製軸受）
サマリウムコバルト極小磁石
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水晶振動子片

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表示件数

マイクロ流路　※微小な液体を高精度制御！測定します！

MEMS技術・機能性薄膜技術を用いて微小液体を高精度に制御する！測る！

最終更新日 2024年07月11日
MEMS受託～開発から量産まで一貫対応～

微細加工、機能薄膜、接合封止、ウエハプロセスからパッケージングまで対応

最終更新日 2024年07月11日

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