MEMS技術

シチズンファインデバイスは『MEMS＆LIGA』を用いて、ウエハプロセスから 実装までワンストップで行います。 高精度・高剛性・高平坦・高アスペクトの「MEMS治具」の提供や、 超微細加工で液体を制御する検査・創薬用チップ「マイクロ流路」の 設計、成形から接合、検査まで一貫対応します。