2電極静電容量センサー D-050/D-100 高分解能ナノ測定
最大測定範囲150µm、高精度なナノ変位制御に対応
D-050/D-100は、PI社が提供する2電極静電容量センサーで、最大150µmの測定範囲と0.01nmの分解能を実現。 干渉計より高分解能かつ非接触方式のため、ナノメートルスケールの測定に最適です。 パラレル計測に対応し、多軸制御におけるリアルタイム補正も可能。 直線性は0.01%以下（デジタルコントローラー使用時）、バンド幅は最大10kHz。 クリーン環境、半導体製造、計測機器への組込みに適しています。
基本情報
・高精度が必要なアプリケーションに最適 ・測定範囲 ～ 0.01nm ・分解能：0.01nm ・デジタルコントローラー使用時の ・リニアリゼーション ～ 0.01% ・バンド幅 ～ 10Khz ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・高精度位置決め・測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
