【半導体業界向け】装置の精度不足、原因は材料にあり
熱変形や振動で精度が出ないとお悩みの方へ。材料で高精度を実現する選定指針を公開。
露光やエッチング工程で「設計通りの精度が出ない」と悩んでいませんか？ 装置の微細化が進む中、歩留まり悪化の主因は部材の熱変形や振動にあります。 この精度問題を「材料」から解決する、ヒノデの特殊材料をご提案します。 ■低熱膨張鋳鉄『ヒノGDインバー』 ・低熱膨張：熱変形量が鋼の約1/5。線膨張係数1.0～5.0ppm/℃の材料ラインナップ。 ・ニアネットシェイプ：加工範囲・材料ロスを抑え、コストを低減します。 ・快削材：独自の材料特性で加工費低減と精密加工へ対応します。 ○板材からの全加工に比べ約30％のコストダウン事例もございます。 ■高減衰材料『ミネラルキャスティング』 1.減衰性：鋳鉄の約10倍の振動減衰性を持ち、特に高周波振動を吸収します。 2.熱安定性：低熱伝導により外部環境の影響を最小限に抑制します。 ○材料特性と形状最適化を組み合わせることで、サブミクロンの精度が求められる装置の 整定時間を約60%短縮した事例もございます。 現状の精度に限界を感じておられるなら、材料を見直してみませんか？ 【詳細は、下記よりカタログをダウンロードしてご確認ください】
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ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング） ■ 対象工程・部品 工程： 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質： 鋳鉄（FC/FCD）、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他