【半導体業界向け】熱変位を抑える材質・構造の極意
精度ズレを「材料」から解決。寸法安定性を高める設計のアプローチを解説。
露光や検査工程で、稼働に伴う「熱ズレ」に頭を抱えていませんか？ 装置の微細化が進む中、わずかな熱変位が歩留まりを左右する致命的な課題となります。 ■熱変位を抑えるヒノデの3つのアプローチ 材質：一般鋼の約1/5の変位に抑える低熱膨張鋳鉄「ヒノGDインバー」を採用し、部材自体の伸びを最小化。 解析：熱解析で構造体のウィークポイントを究明し、構造最適化で熱変形の影響を最小化。 ヒノデグループは独自材料の開発から構造解析まで一貫して支援し、次世代装置の精度課題を解決します。 熱変位対策として、貴社の設計では「材質」と「構造」のどちらを優先的に見直されていますか？
基本情報
ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方 ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。 ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方 ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。 ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方 ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。 ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で 350社以上のお客様との実績あり。 ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。 ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング）
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取り扱い会社
ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング） ■ 対象工程・部品 工程： 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質： 鋳鉄（FC/FCD）、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他