ハイウィン株式会社 公式サイト

圧倒的な薄さが特長の薄型DDモータ―

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開発・保守の工数削減！ 原点復帰不要で高効率作業が可能な、次世代DDモーター

【アブソリュートエンコーダー搭載】次世代DDモーターの特長 - ダイレクトドライブ方式だからバックラッシュレス＆メンテナンスレス - 高精度位置決め制御を実現 - 高剛性ベアリングにより高耐荷重 - 高速回転可能だから作業効率が向上 - 原点復帰動作・制御プログラムが不要 - 緊急停止や立ち上げ時にも短時間で装置の再起動が可能 - アウターローター型で高慣性負荷にマッチ - 配線の取り回しや空間設計が簡単な中空シャフト - 回転・移動構造がコンパクトな設計

各種自動化タスクに。ハイウィンのDDモーター

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■■各種自動化タスクに活躍■■HIWINのダイレクトドライブ方式のDDモーター・トルクモーター

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高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム アーム長　135mm／185mm エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

・2-12インチ対応のラインアップ ・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能 ・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能 ・クリーン度Class 1

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 　フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。 ・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。 　ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。 ・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。 　ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。