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ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ

■ウエハ白色干渉測定モデル 12インチウエハ測定装置に適用。 サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測に。 短納期対応。 ■ PLP検査 モデル エアベアリングとリニアガイドウェイのハイブリッド構造で、 高精度と高剛性を兼ね備えています。短納期対応。 ■LDI 露光機 モデル ハイグレードなエアベアリングステージ。 動的安定性と動的精度が高く、 安定して高い精度を維持できます。 ■ウエハ光学検査装置 8 インチウエハの検査やAOI装置に適用。 短納期で安定性の高い汎用ステージです。

高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消！

≫特長≪ ・5軸自由度 ・サーボ帯域幅＞100Hz ・クリーンルームISO Class2準拠 ・一体型ロータリー式エアジョイント ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・最小高さ90mm

圧倒的な薄さが特長の薄型DDモータ―

○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。

ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に最適。　※技術資料を進呈

■悪環境下での使用 　ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に適しています。 ■互換性 　ステンレス鋼シリーズと炭素鋼シリーズは、外観とねじ寸法が同じため、直接置換えることが可能です。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。